全自动检查除尘机
全自动AOI检查除尘机
一、设备特点
1、设备自动检查灰尘数量、准确识别，精准定位灰尘坐标
2、能够定点清除灰尘异物
3、干法清洁、无残留、无二次污染
4、1μ以上的可动灰尘除去率：90%
5、效果可视化，真正做到异物看得见，除得掉
二、检查与清洁效果
1、最小检出灰尘：1μm
2、解像度/camera 1像素对应的大小：0.6μm（根据被检测无尺寸及灰尘需求会有变更）
3、1μm以上灰尘检出率：90%
4、1μm以上灰尘除去率：90%（不含胶状物）
5、灰尘率（100个CMOS含有1μm及以上灰尘的数量）：1.1%~1.9%（2012-2018日本S社平均实绩）
6、成品良率提升（完成品DPC测试结果）：1.24%（日本S社改善实绩，对标1.1%~1.9%灰尘率改善效果）
7、UPH：1500-3000
8、每个sensor检查时间：1.86s/1sensor(2ea)
9、每个灰尘清除时间：3.6s/1Particle(2ea)
10、可否清洁后重测：OK
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